被动隔振平台（Passive Vibration Lsolation System）

被动隔振平台一般由质量 – 弹簧 – 阻尼系统组成，主要使用线圈弹簧（Coil Spring）、隔振橡胶垫（Elastomer Pad）、空气弹簧（Air Speing）来隔离地基振动，或是隔离振动源使其振动不至于专递到地基。该系统的有点为简单的结构即可获得最大的隔振效果，但其缺点为在低频段的共振及隔振性能极低，需要很长的稳定时间，另外操作性也较差。

主动隔振平台（Active Vibration Lsolation System）

被动隔振平台在低频段难以隔离振动，为改善其隔振性能，主动隔振平台安装振动传感器和执行器，以此有效控制振动。

主动隔振系统从隔振台上板处开始测试振动，由控制执行器推力的反馈控制，以及从隔振台地板处开始测试振动并以此来控制执行器推力的前馈控制组成。使用这一控制系统，不仅能够大幅改善被动隔振平台的动特性，还能有效改善低频段隔振性能，并且不会出现共振。

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